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無(wú)塵車間廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：1、應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域2、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、倉(cāng)儲(chǔ)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染，振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域，當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，應(yīng)位于1大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)3、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人1流、物流不穿越或少穿越的地段4、對(duì)于兼有微振控制要求的無(wú)塵車間廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備，精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定5、無(wú)塵車間廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的近距離宜大于50M6、無(wú)塵車間廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道7、無(wú)塵車間廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好，發(fā)塵少的材料8、無(wú)塵車間廠房應(yīng)進(jìn)行綠化，可鋪植草坪，不應(yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物。
無(wú)塵車間潔凈室（區(qū)）與周圍的空間必須維持在一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。1、不同等級(jí)的無(wú)塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。2、無(wú)塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定3、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖，正壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)，關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反，負(fù)壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反4、非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。
千級(jí)無(wú)塵車間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國(guó)際性潔凈標(biāo)準(zhǔn)的A1級(jí)?，F(xiàn)階段運(yùn)用在芯片級(jí)生產(chǎn)制造的潔凈標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)塵土的規(guī)定高過(guò)A1級(jí)，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是說(shuō)業(yè)界別名級(jí)別中的千級(jí)。 千級(jí)無(wú)塵車間的標(biāo)準(zhǔn)，微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是說(shuō)業(yè)界千級(jí)無(wú)塵車間的含意。（1000級(jí)的定義是：每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆）。 無(wú)塵車間級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標(biāo)值來(lái)劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計(jì)劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級(jí)的級(jí)別，而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范圍之內(nèi)總計(jì)遍布的粒子群。
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